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PBIC Controller
Protection Gate Valve를 정밀 제어해 Particle 역류를 방지하고 Pump Fail 상황에서 Chamber를 보호합니다.
자세히 보기SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ENGINEERING
Precision Control
for Semiconductor
Equipment
공정 안정성을 제어하는 반도체 장비 엔지니어링
OASIS는 PBIC Controller, 장비 Modify, PCB 국산화, Parts 대체 솔루션을 통해 반도체 생산 장비의 효율과 안정성을 높입니다.
Sub-Fab과 Main-Fab 환경을 이해하는 현장 중심 기술력으로 고객 생산 라인에 최적화된 제어 솔루션을 제공합니다.
BUSINESS
반도체 장비의 문제를 기술 솔루션으로 전환합니다
제어기 개발부터 장비 개조, PCB 국산화, 부품 대체까지. OASIS는 생산 장비의 수명과 가동률을 높이는 현장형 엔지니어링 서비스를 제공합니다.
AT A GLANCE
숫자로 보는 OASIS의 엔지니어링 기반
반도체 장비 제어, PCB 국산화, 장비 개조 프로젝트를 통해 생산 라인의 안정성과 유지보수성을 높입니다.
2002
Engineering base since
0.3s
Emergency close response
200+
Event log capacity
1CH / 4CH / 6CH
PBIC channel lineup
24/7
Equipment status monitoring
CE / SEMI S2
Safety standard option
SYSTEM ARCHITECTURE
Main-Fab과 Sub-Fab을 연결하는 제어 구조
PBIC는 공정 챔버, Protection Gate Valve, Dry Pump, Local/Remote Controller를 연결해 장비 상태를 실시간으로 제어하고 보호합니다.
Main-Fab
공정 챔버와 PGV 상태를 감시하고 현장 조작 인터페이스를 제공합니다.
Sub-Fab
PBIC Controller가 Pump, Valve, Sensor 신호를 통합 제어합니다.
Signal Control
Sensor, Solenoid, Interlock 신호를 기반으로 안전 시퀀스를 실행합니다.
Data Monitoring
Operation, Alarm, Signal Log를 기록해 트러블슈팅과 예방 정비를 지원합니다.